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新品速遞 升華儀 BOF-6-210

閱讀:1109        上傳時間:2022/04/02

技術(shù)參數(shù)

  1.加熱元件:進口KTL電阻絲。

  2.加熱區(qū)數(shù)量:5-8區(qū)(可根據(jù)需求定制),實現(xiàn)一個溫曲兩點控制,使溫場更均勻。

  3.升華區(qū)溫度:室溫至800℃,連續(xù)可調(diào)。

  保溫區(qū)溫度:室溫至400℃可調(diào);恒溫溫度隨時間和空間波動不大于±1℃(測試方法符合國家計量標準JJF 1184-2007)。

  4.升華舟容積:0.5~10克,50~500克,500~2000克。

  5.控溫方式:人機界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,數(shù)字工控儀表雙控,采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實現(xiàn)雙控,采用模糊型PID控制。

  6.無紙記錄:內(nèi)置存儲記錄運行工藝數(shù)據(jù),外接USB接口,可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù)。

  7.結(jié)構(gòu)描述:①設(shè)備可電動對半開啟,自動控制冷卻降溫系統(tǒng).實現(xiàn)可控冷卻速度.

  ②在進料端配備2路高精度質(zhì)量流量計系統(tǒng),準確控制氣體流量,可以實現(xiàn)生產(chǎn)工藝拓展和調(diào)整。

  ③系統(tǒng)采用自動化工藝流程,設(shè)定好工藝一鍵操作,降低人為因素,工藝可靠性可達到99.9%。

  8.過濾方式:系統(tǒng)采用三級過濾保護裝置,分別采用5級微孔金屬濾網(wǎng)、2套液氮內(nèi)嵌式冷凝、90度直角臺階式過濾。

  9.外管尺寸Φ210X2000mm,腔體采用三層石英管裝置,可以自動進出料,結(jié)構(gòu)可保證真空室管不受污染,保持較高的真空度。中層管取料方便,易于清洗,內(nèi)層料管分段升華后各段料容易區(qū)分,能最大限度的保證產(chǎn)品和純度和產(chǎn)率(最大升華率97%,與材料和配置有關(guān))。

  10.腔體采用內(nèi)控溫和外控溫相互切換,防止石英折射和散射造成的溫場不均勻現(xiàn)象。

  11.設(shè)備的正面端面都采用石英密封觀察窗,可以*觀察生產(chǎn)中材料的提純情況,配上攝像系統(tǒng)可實現(xiàn)生產(chǎn)升華過程全監(jiān)控和記錄。

  12.抽真空端采用了主管直徑200mm的分子泵直連,確保實驗中高真空的需求,在直徑200mm直管中間加插板閥,插板閥的兩端加直徑3mm細管多孔旁抽支路,防止在初真空時抽速太大影響分子擴散的方向,導致材料不均勻。

  13.前級機械泵 60m3/h,分子泵抽速160L/S。

  本底真空:機械泵系統(tǒng):1Pa 分子泵系統(tǒng)10-4Pa。

  多種異形內(nèi)管可以選購


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